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第1章 概述1

1.1硅的简介1

1.2硅材料工业概况4

1.3多晶硅的生产方法7

小结12

习题12

第2章 纯水的制备13

2.1水的概述13

2.2离子交换法简介14

2.3去离子水（高纯水）的制备工艺15

2.4离子交换法制备纯水17

2.5纯水制备系统主要设备及工作原理19

2.6纯水制备系统运行控制26

2.7纯水制备系统的清洗27

2.8高纯水的测量30

小结32

注释32

习题32

第3章 工业硅的生产33

3.1工业硅生产原理及影响因素33

3.2工业硅生产工艺38

3.3工业硅生产操作41

3.4工业硅生产设备43

3.5生产操作及安全控制50

3.6烟气净化利用56

小结63

习题64

第4章 氢气的制备和净化65

4.1氢气的简介65

4.2氢气的生产工艺68

4.3氢气的净化、储存和运输71

4.4氢气的安全使用73

小结75

习题75

第5章 液氯的汽化76

5.1氯气的性质76

5.2液氯的汽化77

5.3氯的存放和安全使用79

小结83

习题84

第6章 氯化氢的合成85

6.1氯化氢的性质85

6.2氯化氢的合成原理85

6.3氯化氢合成工艺过程86

6.4主要设备及其作用86

6.5工艺条件选择和操作要点87

6.6质量控制要点88

6.7安全控制89

小结89

习题89

第7章 三氯氢硅的合成90

7.1三氯氢硅制备原理90

7.2三氯氢硅合成工艺流程90

7.3三氯氢硅合成的主要设备91

7.4三氯氢硅合成的工艺条件94

7.5生产现场操作要点97

小结98

习题99

第8章 三氯氢硅的提纯100

8.1三氯氢硅中杂质含量的分析100

8.2提纯三氯氢硅的方法简介102

8.3精馏的基本概念102

8.4双组分溶液的气液相平衡107

8.5精馏原理112

8.6精馏塔的物料衡算——操作线方程116

8.7双组分连续精馏过程的计算126

8.8精馏提纯设备139

8.9精馏工艺145

小结151

习题151

第9章 三氯氢硅氢还原制备高纯硅152

9.1三氯氢硅氢还原的原理及影响因素152

9.2三氯氢硅氢还原的工艺155

9.3三氯氢硅氢还原操作要点及事故处理157

9.4三氯氢硅氢还原工艺质量要求159

9.5三氯氢硅氢还原工艺中的计算159

9.6还原生产中的热能综合利用160

小结161

习题161

第10章 还原尾气干法回收工艺162

10.1重要作用和意义162

10.2干法回收的工艺过程163

10.3四氯化硅的氢化165

小结169

习题169

第11章 硅芯的制备与腐蚀170

11.1硅芯的制备170

11.2硅芯腐蚀175

小结176

习题177

第12章 硅烷法制备高纯硅178

12.1硅烷的概述178

12.2原料的制取及处理180

12.3硅烷的发生184

12.4硅烷的提纯189

12.5硅烷热分解制备多晶硅191

小结193

习题194

参考文献195